VHF monolithically integrated CMOS-MEMS longitudinal bulk acoustic resonator

J. Giner*, A. Uranga, J. L. Muñoz-Gamarra, E. Marigó, N. Barniol

*Autor correspondiente de este trabajo

Producción científica: Contribución a una revistaArtículoInvestigaciónrevisión exhaustiva

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Resumen

Presented is a fully integrated solution on CMOS technology for achieving a longitudinal bulk acoustic wave microelectromechanical resonator. The capacitive polysilicon module present in the AMS 0.35 μm commercial CMOS technology is used to implement a longitudinal bar with a gap of 40nm using the interpoly oxide as spacer. Measurements, in air, show a resonance frequency of 258MHz.

Idioma originalInglés
Páginas (desde-hasta)514-516
Número de páginas3
PublicaciónElectronics Letters
Volumen48
N.º9
DOI
EstadoPublicada - 26 abr 2012

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'VHF monolithically integrated CMOS-MEMS longitudinal bulk acoustic resonator'. En conjunto forman una huella única.

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