VHF CMOS-MEMS resonator monolithicaly integrated in a standard 0.35\mum CMOS technology

J. Teva, G. Abadal, A. Uranga, J. Verd, F. Torres, J.Ll López, J. Esteve, F. Pérez-Murano, N. Barniol

Producción científica: Capítulo de libro › Capítulo › Investigación

Idioma original	Inglés
Título de la publicación alojada	20th IEEE international conference on micro electro mechanical systems. MEMS 2007
Lugar de publicación	Kobe (JP)
Páginas	779-782
Número de páginas	3
Edición	1
Estado	Publicada - 1 ene 2007

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TY - CHAP

T1 - VHF CMOS-MEMS resonator monolithicaly integrated in a standard 0.35\mum CMOS technology

AU - Teva, J.

AU - Abadal, G.

AU - Uranga, A.

AU - Verd, J.

AU - Torres, F.

AU - López, J.Ll

AU - Esteve, J.

AU - Pérez-Murano, F.

AU - Barniol, N.

PY - 2007/1/1

Y1 - 2007/1/1

M3 - Chapter

SN - 978-1-4244-0950-1

SP - 779

EP - 782

BT - 20th IEEE international conference on micro electro mechanical systems. MEMS 2007

CY - Kobe (JP)

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