Using defocus in optical inspection of integrated circuits

X. Binefa, J. Sànchez, F.X. Pérez, X. Roca, J. Vitrià, J.J. Villanueva

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › Investigación

Idioma original	Inglés
Páginas (desde-hasta)	389-392
Publicación	Journal of Physics: Conference Series
Volumen	135
N.º	10
Estado	Publicada - 1 ene 1994

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issn = "1742-6588",

publisher = "IOP Publishing Ltd.",

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