Two-Step Stress Method for the Dynamic Testing of Very Thin (8nm) SiO2 Films

Producción científica: Contribución a una revistaArtículoInvestigación

1 Cita (Scopus)
Idioma originalInglés
Páginas (desde-hasta)1127-1131
PublicaciónMicroelectronics Reliability
Volumen38
EstadoPublicada - 1 jun 1998

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