Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems

F. Pérez-Murano; Z. Davis; E. Forsen; M. Dong; J. Montserrat; G. Abadal; C. Martín; X. Borrisé; A. Boisen; N. Barniol

Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems

F. Pérez-Murano, Z. Davis, E. Forsen, M. Dong, J. Montserrat, G. Abadal, C. Martín, X. Borrisé, A. Boisen, N. Barniol

Centro Nacional de Microelectrónica

Producción científica: Capítulo de libro › Capítulo › Investigación

Idioma original	Inglés
Título de la publicación alojada	Libro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electrónicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003
Lugar de publicación	Calella (ES)
Páginas	97-
Edición	1
Estado	Publicada - 1 ene 2003

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Este resultado contribuye a los siguientes Objetivos de Desarrollo Sostenible

ODS 9: Industria, innovación e infraestructura

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Pérez-Murano, F., Davis, Z., Forsen, E., Dong, M., Montserrat, J., Abadal, G., Martín, C., Borrisé, X., Boisen, A., & Barniol, N. (2003). Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems. En Libro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electrónicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003 (1 ed., pp. 97-).

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Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems. / Pérez-Murano, F.; Davis, Z.; Forsen, E. et al.
Libro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electrónicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003. 1. ed. Calella (ES), 2003. p. 97-.

Producción científica: Capítulo de libro › Capítulo › Investigación

TY - CHAP

T1 - Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems

AU - Pérez-Murano, F.

AU - Davis, Z.

AU - Forsen, E.

AU - Dong, M.

AU - Montserrat, J.

AU - Abadal, G.

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PY - 2003/1/1

Y1 - 2003/1/1

M3 - Chapter

SN - 978-84-607-6771-8

SP - 97-

BT - Libro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electrónicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003

CY - Calella (ES)

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