MEMS Mass sensor with atto-gram/Hz sensitivity based on a polysilicon cantilever array integrated monolithically with CMOS circuit

M. Villarroya, J. Teva, E. Forsen, J. Verd, G. Abadal, J. Montserrat, J. Esteve, F. Pérez-Murano, A. Boisen, N. Barniol

Producción científica: Capítulo del libroCapítuloInvestigación

Idioma originalInglés
Título de la publicación alojadaEUROSENSORS XIX BARCELONA. SPAIN 11th-14th September 2005
Lugar de publicaciónBarcelona (ES)
Páginas-
Edición1
EstadoPublicada - 1 ene 2005

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