Improving silicon integrated antennas by substrate micromachining: A study of etching patterns

J. Gemio, J. Parron, P. de Paco, J. Sacristan, A. Baldi

Producción científica: Contribución a una revistaArtículoInvestigaciónrevisión exhaustiva

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Improving silicon integrated antennas by substrate micromachining: A study of etching patterns'. En conjunto forman una huella única.

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