High-sensitivity capacitive readout system for resonant submicrometer-scale cantilevers based sensors

J. Verd, G. Abadal, J. Teva, A. Uranga, N. Barniol, J. Esteve, M. Duch, F. Pérez-Murano

Producción científica: Capítulo de libro › Capítulo › Investigación

Idioma original	Inglés
Título de la publicación alojada	IEEE international symposium on circuits and systems, ISCAS 2005
Lugar de publicación	Kobe (JP)
Páginas	4209-4212
Número de páginas	3
Edición	1
Estado	Publicada - 1 ene 2005

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TY - CHAP

T1 - High-sensitivity capacitive readout system for resonant submicrometer-scale cantilevers based sensors

AU - Verd, J.

AU - Abadal, G.

AU - Teva, J.

AU - Uranga, A.

AU - Barniol, N.

AU - Esteve, J.

AU - Duch, M.

AU - Pérez-Murano, F.

PY - 2005/1/1

Y1 - 2005/1/1

M3 - Chapter

SN - 978-0-7803-8834-5

SP - 4209

EP - 4212

BT - IEEE international symposium on circuits and systems, ISCAS 2005

CY - Kobe (JP)

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