Fabrication and test of 3C-SiC electrostatic resonators

M. Placidi, P. Godignon, J. Esteve, N. Mestres, G. Abadal

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › Investigación

1 Cita (Scopus)

Idioma original	Inglés
Páginas (desde-hasta)	949-952
Publicación	Materials Science Forum
Volumen	556-557
DOI	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.556-557.949
Estado	Publicada - 1 sept 2007

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TY - JOUR

T1 - Fabrication and test of 3C-SiC electrostatic resonators

AU - Placidi, M.

AU - Godignon, P.

AU - Esteve, J.

AU - Mestres, N.

AU - Abadal, G.

PY - 2007/9/1

Y1 - 2007/9/1

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DO - 10.4028/www.scientific.net/MSF.556-557.949

M3 - Article

SN - 0255-5476

VL - 556-557

SP - 949

EP - 952

JO - Materials Science Forum

JF - Materials Science Forum

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