Dielectric BD in polycristalline HfO2 gate dielectrics investigated by CAFM',

V. Iglesias, M. Porti, M. Nafria, X. Aymerich, P. Dudek, G. Bersuker

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › Investigación › revisión exhaustiva

Idioma original	Inglés
Páginas (desde-hasta)	-
Publicación	Journal of Vacuum Science & Technology B
Volumen	29
N.º	01AB02
Estado	Publicada - 1 ene 2011

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TY - JOUR

T1 - Dielectric BD in polycristalline HfO2 gate dielectrics investigated by CAFM',

AU - Iglesias, V.

AU - Porti, M.

AU - Nafria, M.

AU - Aymerich, X.

AU - Dudek, P.

AU - Bersuker, G.

PY - 2011/1/1

Y1 - 2011/1/1

M3 - Article

SN - 2166-2746

VL - 29

SP - -

JO - Journal of Vacuum Science & Technology B

JF - Journal of Vacuum Science & Technology B

IS - 01AB02

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