Design, fabrication, and characterization of a submicroelectromechanical resonator with monolithically integrated CMOS readout circuit

Jaume Verd, Gabriel Abadal, J. Teva, María Villarroya Gaudó, Arantxa Uranga, Xavier Borrisé, Francesca Campabadal, Jaume Esteve, Eduardo Figueras Costa, Francesc Pérez-Murano, Zachary J. Davis, Esko Forsén, Anja Boisen, Nuria Barniol

Producción científica: Contribución a una revistaArtículoInvestigaciónrevisión exhaustiva

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Profundice en los temas de investigación de 'Design, fabrication, and characterization of a submicroelectromechanical resonator with monolithically integrated CMOS readout circuit'. En conjunto forman una huella única.

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