Cross Coupled beams CMOS-MEMS resonator for VHF range with enhanced electrostatic detection

E. Marigó, J.L. Muñoz-Gamarra, G. Vidal, J. Giner, F. Torres, A. Uranga, N. Barniol

Producción científica: Contribución a una revistaArtículoInvestigación

5 Citas (Scopus)
Idioma originalInglés
Páginas (desde-hasta)2325- 2329
PublicaciónMicroelectronic Engineering
Volumen88
N.º8
DOI
EstadoPublicada - 1 ene 2011

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