CMOS integrated MEMS resonator for RF applications

Gabriel Abadal Berini; Maria Aranzazu Uranga Del Monte; Jorge Teva Meroño; Jaume Verd Martorell; Francisco Torres Canals; Francesc Pérez Murano

CMOS integrated MEMS resonator for RF applications

Gabriel Abadal Berini, Maria Aranzazu Uranga Del Monte, Jorge Teva Meroño, Jaume Verd Martorell, Francisco Torres Canals, Francesc Pérez Murano

Departamento de Ingeniería Electrónica

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › Investigación › revisión exhaustiva

3 Citas (Web of Science)

Idioma original	Inglés
Páginas (desde-hasta)	2301-2304
Publicación	Proc.- IEEE Int. Symp. Circuits Syst.
Volumen	1
Estado	Publicada - 1 ene 2006

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TY - JOUR

T1 - CMOS integrated MEMS resonator for RF applications

AU - Abadal Berini, Gabriel

AU - Uranga Del Monte, Maria Aranzazu

AU - Teva Meroño, Jorge

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PY - 2006/1/1

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M3 - Article

SN - 0271-4310

VL - 1

SP - 2301

EP - 2304

JO - Proc.- IEEE Int. Symp. Circuits Syst.

JF - Proc.- IEEE Int. Symp. Circuits Syst.

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