CHARACTERIZATION OF CMOS-MEMS RESONATOR BY PULSED MODE ELECTROSTATIC ACTUATION

J. L. Munoz-Gamarra, E. Marigo, J. Giner, A. Uranga, F. Torres, N. Barniol, IEEE

Producción científica: Contribución a una revistaArtículoInvestigaciónrevisión exhaustiva

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Idioma originalIndefinido/desconocido
Publicación2010 Ieee International Frequency Control Symposium (Fcs)
DOI
EstadoPublicada - 2010

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