Assessing the correlation between location and size of catastrophic breakdown events in high-k mim capacitors

J. Munoz-Gorriz, D. Blachier, G. Reimbold, F. Campabadal, J. Sune, S. Monaghan, K. Cherkaoui, P. K. Hurley, E. Miranda

Producción científica: Contribución a una revistaArtículoInvestigación

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Huella

Profundice en los temas de investigación de 'Assessing the correlation between location and size of catastrophic breakdown events in high-k mim capacitors'. En conjunto forman una huella única.

Keyphrases

Engineering

Material Science