A Single-chip AlScN PMUTs-on-CMOS hydrophone

Eyglis Ledesma, Aránzazu Uranga del Monte, Núria Barniol i Beumala

Producción científica: Contribución a una revista › Artículo › Investigación › revisión exhaustiva

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'A Single-chip AlScN PMUTs-on-CMOS hydrophone'. En conjunto forman una huella única.

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