| Idioma original | Inglés |
|---|---|
| Páginas (desde-hasta) | 1150122- |
| Publicación | Journal of Micromechanics and Microengineering |
| Volumen | 26 |
| Estado | Publicada - 1 ene 2016 |
A Monollithically Integrated Torsional CMOS-MEMS Relay
M. Riverola, G. Sobreviela, F. Torres, A. Uranga, N. Barniol
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