A CMOS-MEMS filter using a V-coupler and electrical phase inversion

J. Giner*, A. Uranga, F. Torres, E. Marigo, J. L.Muñoz Gamarra, N. Barniol

*Autor correspondiente de este trabajo

Producción científica: Contribución a una revistaArtículoInvestigaciónrevisión exhaustiva

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Resumen

In this paper a fully integrated CMOS-MEMS filter is presented. The filter is formed by two beams using a V-shaped coupler which allows the in-plane vibrations. The device presents a BW of 1.85MHz for a 29MHz center frequency. The electrical phase inversion mechanism is used in order to obtain the filter response. The device is fabricated using the capacitance module present in the commercial CMOS technology from Austria Micro-systems 0.35 μm.

Idioma originalInglés
Páginas (desde-hasta)344-348
Número de páginas5
Publicación2010 IEEE International Frequency Control Symposium, FCS 2010
DOI
EstadoPublicada - 2010

Huella

Profundice en los temas de investigación de 'A CMOS-MEMS filter using a V-coupler and electrical phase inversion'. En conjunto forman una huella única.

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