A 230 MHz CMOS-MEMS bulk acoustic wave resonator

E. Marigó, J.L. Muñoz-Gamarra, J. Giner, A. Uranga, N. Barniol

Producción científica: Contribución a una revistaArtículoInvestigación

4 Citas (Scopus)
Idioma originalInglés
Páginas (desde-hasta)458-462
PublicaciónMicroelectronic Engineering
Volumen98
DOI
EstadoPublicada - 1 ene 2012

Citar esto