Detalles del proyecto
Descripción
El objetivo del presente proyecto consiste en el desarrollo de la tecnología para la fabricación de NEMS basados en nanohilos individuales de Si, para operar como sensores y resonadores mecánicos. Los nanohilos de silicio (crecidos por CVD a partir de núcleos catalizadores) están constituidos por silicio cristalino y tienen dimensiones nanométricas, lo que permite explotar al máximo las excelentes propiedades mecánicas del silicio para la realización de sensores
| Estado | Finalizado |
|---|---|
| Fecha de inicio/Fecha fin | 1/01/06 → 31/12/06 |
Financiación
- Ministerio de Industria, Turismo y Comercio (MITYC): 84.600,00 €
Huella digital
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