Sistemes micro-nanoelectromecànics amb circuits CMOS de baix consum per a la transducció i el processat de senyals en aplicacions portables

El objetivo general del presente proyecto es el desarrollo de micro/nano sistemas basados en estructuras micro/nano mecánicas y circuitos integrados CMOS de bajo consumo. El proyecto incluye investigación en a) la tecnología de fabricación de estructuras micro/nano mecánicas resonantes, tanto por lo que respecta a los procesos micro/nano tecnológicos como a la preparación y acondicionamiento de la superficie, y en b) el diseño de circuitos integrados para el acondicionamiento y gestión de las señales. Se pretende desarrollar sistemas integrados que exploten la capacidad tanto de transducción del elemento nanomecánico como del procesado a nivel mecánico de señales analógicas. La actividad en fabricación se centrará en la fabricación de estructuras micro/nanomecánicas, utilizando técnicas micro y nanolitográficas así como en la combinación con la fabricación de los circuitos CMOS. La tecnología desarrollada permitirá la realización de una serie de demostradores que permitirán evaluar diversas aplicaciones. En el campo de la transducción, se realizará un sensor de masa. En el campo del procesado de señales, se realizarán bancos de filtros con respuesta en frecuencia programable según los elementos resonantes excitados para alta frecuencia (comunicación sin cables para sistemas portables). En los demostradores, se hará especial hincapié en maximizar la sensibilidad para el caso de los sensores y en minimizar el consumo para las aplicaciones de procesado de la señal, para lo cual, la disminución de las dimensiones de micro a nano de las estructuras mecánicas representa una mejora substancial e indispensable en aplicaciones portables.