Integración de tecnologia microelectrónica y procesos de nanofabricación para el desarrollo de sensores de masa/biosensores

El objetivo del proyecto es el desarrollo de un sensor resonante de masa de sensibilidad muy alta, fabricado mediante procesos microtecnológicos (procesos microlectrónicos compatibles CMOS) y procesos de nanofabricación. El elemento sensor se basará en palancas (flejes o "cantilevers") de silicio de dimensiones submicrométricas. Al final del proyecto, se espera contar con un pototipo con sensibilidad superior a la décima de femtogramo. Un sensor con esta resolución tiene un amplio rango de aplicaciones. En el presente proyecto, nos centraremos en aplicaciones bioquímicas, y concretamente, en la funcionalización del sensor para la detección de moléculas biológicas (biosensor). La utilización de procesos de nanofabricaión es la principal innovación del proyecto y permite aumentar la sensibilidad frente a los sensores comerciales actuales. La combinación de estos procesos con procesos microelectrónicos estándar permiten integrar monoliticamente junto al sensor un circuito electrónico integrado, lo cual permite hacer viable las propiedades del sensor. Como resultado final del proyecto se prevé disponer de un "array" de sensores resonantes basados en microflejes para la detección de moléculas biològicas. La realización del sensor se llevará a cabo a partir de la colaboración de tres grupos: El grupo de la UAB estará a cardo de la definición del sistema de detección y del diseño de los circuitos electrónicos integrados; El grupo de CNM será el responsable de los procesos tecnológicos de fabricación. El proceso concreto dinal de nanofabricaicón de llevará a cabo en el Mikroelektronik Centret en Dinamarca, gracias a la colaboración de estos tres grupos en el marco del proyecto europeo NANOMASS. Finalmente, la apliacbilidad del sensor se demostrará a partir de la detección de biomoléculas. Para ello, el grupo de la UB será el encargado de diseñar y realizar la funcionalización del sensor.