Desarrollo de mejoras de la técnica C-AFM para la caracteritzación de dieléctricos en la nanoescala: aplicación a stacks de puerta de dispositivos MOS basados en Hafnio

Student thesis: Doctoral thesis

Date of Award21 Mar 2011
Original languageSpanish
SupervisorMontserrat Nafria Maqueda (Director) & Marc Porti Pujal (Director)

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