Original language | Spanish |
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Pages (from-to) | 439-444 |
Journal | Anales de química : Serie B, Química inorgánica y química analítica |
Volume | 87 |
Publication status | Published - 1 Jan 1991 |
Método estadístico de diseño experimental aplicado al desarrollo de procesos en tecnología microelectrónica
E. Cabruja, M. Lozano, C. Cané, C. Dominguez, LORA-TAMAYO E., F. Serra
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