Estudio del silicio policristalino crecido por LPCVD utilizado en microelectrónica I : Cinéticas de crecimiento

G. Pastor, C. Domínguez, LORA TAMAYO E., E. Domínguez

Research output: Contribution to journal › Article › Research

Original language	Spanish
Pages (from-to)	114-120
Journal	Anales de física : Serie B, Aplicaciones, métodos e instrumentos
Volume	81
Publication status	Published - 1 Jan 1985

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@article{469a211575714fc89a09a5546267afaf,

title = "Estudio del silicio policristalino crecido por LPCVD utilizado en microelectr{\'o}nica I : Cin{\'e}ticas de crecimiento",

author = "G. Pastor and C. Dom{\'i}nguez and E., {LORA TAMAYO} and E. Dom{\'i}nguez",

year = "1985",

month = jan,

day = "1",

language = "Espa{\~n}ol",

volume = "81",

pages = "114--120",

}