Estudio del silicio policristalino crecido por LPCVD utilizado en microelectrónica I : Cinéticas de crecimiento

G. Pastor, C. Domínguez, LORA TAMAYO E., E. Domínguez

    Research output: Contribution to journalArticleResearch

    Original languageSpanish
    Pages (from-to)114-120
    JournalAnales de física : Serie B, Aplicaciones, métodos e instrumentos
    Volume81
    Publication statusPublished - 1 Jan 1985

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