Original language | Spanish |
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Pages (from-to) | 114-120 |
Journal | Anales de física : Serie B, Aplicaciones, métodos e instrumentos |
Volume | 81 |
Publication status | Published - 1 Jan 1985 |
Estudio del silicio policristalino crecido por LPCVD utilizado en microelectrónica I : Cinéticas de crecimiento
G. Pastor, C. Domínguez, LORA TAMAYO E., E. Domínguez
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