Estudio del silicio policristalino crecido por LPCVD utilizado en microelectrnica II : Uniformidad y cristalinidad

G. Pastor, C. Domínguez, LORA TAMAYO E., E. Domínguez

Research output: Contribution to journal › Article › Research

Original language	Spanish
Pages (from-to)	204-210
Journal	Anales de física : Serie B, Aplicaciones, métodos e instrumentos
Volume	83
Publication status	Published - 1 Jan 1987

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title = "Estudio del silicio policristalino crecido por LPCVD utilizado en microelectrnica II : Uniformidad y cristalinidad",

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