Estudio del silicio policristalino crecido por LPCVD utilizado en microelectrnica II : Uniformidad y cristalinidad

G. Pastor, C. Domínguez, LORA TAMAYO E., E. Domínguez

    Research output: Contribution to journalArticleResearch

    Original languageSpanish
    Pages (from-to)204-210
    JournalAnales de física : Serie B, Aplicaciones, métodos e instrumentos
    Volume83
    Publication statusPublished - 1 Jan 1987

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    Pastor, G., Domínguez, C., E., LORA. TAMAYO., & Domínguez, E. (1987). Estudio del silicio policristalino crecido por LPCVD utilizado en microelectrnica II : Uniformidad y cristalinidad. Anales de física : Serie B, Aplicaciones, métodos e instrumentos, 83, 204-210.