Modelling, design and integration of new differential architectures for M/NEMS resonant sensors

Tesi d’estudis: Tesi doctoral

Data del Ajut9 de nov. 2017
Idioma originalAnglès
SupervisorNuria Barniol Beumala (Director/a) & Jerome Juillard (Director/a)

Paraules clau

  • CMO-MEMS
  • Sensor ressonat diferencial
  • Oscil·lador tancat per injecció

Com citar-ho

'