Integration of nanomechanical sensors on CMOS by nanopatternig methods.

    Tesi d’estudis: Tesi doctoral

    Data del Ajut23 de jul. 2007
    Idioma originalNo s'ha definit/desconegut
    SupervisorFrancesc Pérez Murano (Tutor/a) & Georges Brémond (Director/a)

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