Estudio de los efectos angulares en implantación iónica para la formación de uniones en VLSI

    Tesi d’estudis: Tesi doctoral

    Data del Ajut1 de gen. 1989
    Idioma originalNo s'ha definit/desconegut
    SupervisorEmilio Lora-Tamayo D'Ocón (Director/a)

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