Diseño y fabricación de sistemas micro/nano electromecánicos integrados monolíticamente para aplicaciones de sensores de masa y sensores biológicos con palancas como elementos transductores

Tesi d’estudis: Tesi doctoral

Data del Ajut21 de jul. 2005
Idioma originalNo s'ha definit/desconegut
SupervisorNuria Barniol Beumala (Director/a)

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