Zero-level packaging of MEMS in standard CMOS technology

E. Marigó, J. L. Lopez, G. Murillo, F. Torres, J. Giner, A. Uranga, G. Abadal, J. Esteve, N. Barniol

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecercaAvaluat per experts

16 Cites (Scopus)

Fingerprint

Navegar pels temes de recerca de 'Zero-level packaging of MEMS in standard CMOS technology'. Junts formen un fingerprint únic.

Keyphrases

Engineering

Material Science