VHF CMOS-MEMS resonator monolithicaly integrated in a standard 0.35\mum CMOS technology

J. Teva, G. Abadal, A. Uranga, J. Verd, F. Torres, J.Ll López, J. Esteve, F. Pérez-Murano, N. Barniol

Producció científica: Capítol de llibreCapítolRecerca

Idioma originalEnglish
Títol de la publicació20th IEEE international conference on micro electro mechanical systems. MEMS 2007
Lloc de publicacióKobe (JP)
Pàgines779-782
Nombre de pàgines3
Edició1
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2007

Com citar-ho