Idioma original | English |
---|---|
Títol de la publicació | 20th IEEE international conference on micro electro mechanical systems. MEMS 2007 |
Lloc de publicació | Kobe (JP) |
Pàgines | 779-782 |
Nombre de pàgines | 3 |
Edició | 1 |
Estat de la publicació | Publicada - 1 de gen. 2007 |
VHF CMOS-MEMS resonator monolithicaly integrated in a standard 0.35\mum CMOS technology
J. Teva, G. Abadal, A. Uranga, J. Verd, F. Torres, J.Ll López, J. Esteve, F. Pérez-Murano, N. Barniol
Producció científica: Capítol de llibre › Capítol › Recerca