Surface micromachining technology applied to the fabrication of a FET pressure sensor

L. Svensson, J. A. Plaza, M. A. Benitez, J. Esteve, E. Lora-Tamayo

Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca

Idioma original	Anglès
Pàgines (de-a)	80-83
Revista	Journal of Micromechanics and Microengineering
Volum	6
Número	1
Estat de la publicació	Publicada - 1 de gen. 1996

Altres arxius i enllaços

@article{9f8448cbbb52497b9e785c10187c44ac,

title = "Surface micromachining technology applied to the fabrication of a FET pressure sensor",

author = "L. Svensson and Plaza, \{J. A.\} and Benitez, \{M. A.\} and J. Esteve and E. Lora-Tamayo",

year = "1996",

month = jan,

day = "1",

language = "English",

volume = "6",

pages = "80--83",

number = "1",

}

TY - JOUR

T1 - Surface micromachining technology applied to the fabrication of a FET pressure sensor

AU - Svensson, L.

AU - Plaza, J. A.

AU - Benitez, M. A.

AU - Esteve, J.

AU - Lora-Tamayo, E.

PY - 1996/1/1

Y1 - 1996/1/1

UR - https://www.scopus.com/pages/publications/0030091861

M3 - Article

SN - 0960-1317

VL - 6

SP - 80

EP - 83

JO - Journal of Micromechanics and Microengineering

JF - Journal of Micromechanics and Microengineering

IS - 1

ER -