SiC Freestanding micromechanical structures on silicon-on-insulator substrates

M. Placidi, M. Zielinski, G. Abadal, J. Montserrat, P. Godignon

Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca

1 Citació (Scopus)

Idioma original	Anglès
Pàgines (de-a)	617-620
Revista	Materials Science Forum
Volum	615-617
DOIs	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.615-617.617
Estat de la publicació	Publicada - 1 de gen. 2009

Accés al document

@article{3c4eb89ef2c34d999c8da5f7fbb75eb1,

title = "SiC Freestanding micromechanical structures on silicon-on-insulator substrates",

author = "M. Placidi and M. Zielinski and G. Abadal and J. Montserrat and P. Godignon",

year = "2009",

month = jan,

day = "1",

doi = "10.4028/www.scientific.net/MSF.615-617.617",

language = "English",

volume = "615-617",

pages = "617--620",

journal = "Materials Science Forum",

issn = "0255-5476",

}

TY - JOUR

T1 - SiC Freestanding micromechanical structures on silicon-on-insulator substrates

AU - Placidi, M.

AU - Zielinski, M.

AU - Abadal, G.

AU - Montserrat, J.

AU - Godignon, P.

PY - 2009/1/1

Y1 - 2009/1/1

U2 - 10.4028/www.scientific.net/MSF.615-617.617

DO - 10.4028/www.scientific.net/MSF.615-617.617

M3 - Article

SN - 0255-5476

VL - 615-617

SP - 617

EP - 620

JO - Materials Science Forum

JF - Materials Science Forum

ER -