| Idioma original | Anglès |
|---|---|
| Títol de la publicació | Micromachining and Microfabrication Process Technology XIV |
| Subtítol de la publicació | Proceedings of SPIE |
| Lloc de publicació | Bellingham (US) |
| Pàgines | 7204 07-7204 07-8 |
| Volum | 7204 |
| Estat de la publicació | Publicada - 2009 |
Com citar-ho
- APA
- Author
- BIBTEX
- Harvard
- Standard
- RIS
- Vancouver