Resonating cantilever mass sensor with mechanical on-plane excitation

J. Teva, G. Abadal, X. Jordà, X. Borrisé, Z. Davis, N. Barniol, Vijay K. Varadan editors: Jung-Chih Chiao (Editor)

    Producció científica: Capítol de llibreCapítolRecerca

    Idioma originalAnglès
    Títol de la publicacióSmart Sensors, Actuators, and MEMS : 19-21 May 2003 : Maspalomas, Gran Canaria, Spain
    Lloc de publicacióBellingham (US)
    Pàgines353-363
    Nombre de pàgines10
    Edició1
    Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2003

    Sèrie de publicacions

    NomProceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering ; 5116

    Com citar-ho