Idioma original | Anglès |
---|---|
Pàgines (de-a) | 638-641 |
Revista | Proc. IEEE micro electro mech. syst. |
Volum | 2006 |
Estat de la publicació | Publicada - 1 de gen. 2006 |
Resonant metal cantilever with attogram/Hz mass sensitivity fully integrated in a standard 0.35-um CMOS process
J. Verd, G. Abadal, J. Teva, Nuria Barniol Beumala, Francesc Pérez Murano
Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca
2
Cites
(Scopus)