Resonant metal cantilever with attogram/Hz mass sensitivity fully integrated in a standard 0.35-um CMOS process

J. Verd, G. Abadal, J. Teva, Nuria Barniol Beumala, Francesc Pérez Murano

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecerca

2 Cites (Scopus)
Idioma originalAnglès
Pàgines (de-a)638-641
RevistaProc. IEEE micro electro mech. syst.
Volum2006
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2006

Com citar-ho