Quantitative Evaluation of Implantation Damage and Damage Recovery after Room Temperature Ion-Implantation of Nand P+ Ions in 6H-SiC

S. Blanque, R. Pérez, M. Zielinski, J. Pernot, N. Mestres, J. Pascual, P. Godignon, J. Camassel

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecercaAvaluat per experts

Idioma originalAnglès
Pàgines (de-a)433-436
RevistaMater. sci. eng., B
Volum653
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2003

Com citar-ho