Proceedings of the 9thMicromechanics Europe Workshop-MME'98: Test Microestructures for Measurement of SiC Thin Films Mechanical Properties: 9thMicromechanics Europe Workshop-MME'98:

C. Serre, A. Pérez, A. Romano, J.R. Morante, J. Esteve, M.C. Acero

    Producció científica: Informe/llibreLlibre d'ActesRecerca

    Idioma originalAnglès
    Lloc de publicacióUlvik in Hardanger (NO)
    Nombre de pàgines4
    Estat de la publicacióPublicada - de juny 1998

    Com citar-ho