Pattern transfer optimization for the fabrication of arrays of silicon nanowires

Y. Gebremichael, A. Sánchez, X. Borrise, M. Schmidt, A.R. Goñi, M.I. Alonso, R. Rurali, J. Suñé, X. Cartoixà, F. Pérez-Murano

Producció científica: Contribució a una revistaArticleRecerca

1 Citació (Scopus)
Idioma originalEnglish
Pàgines (de-a)1479-1482
RevistaMicroelectron. Eng.
Volum87
Número5-8
DOIs
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2010

Com citar-ho