Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems

F. Pérez-Murano; Z. Davis; E. Forsen; M. Dong; J. Montserrat; G. Abadal; C. Martín; X. Borrisé; A. Boisen; N. Barniol

Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems

F. Pérez-Murano, Z. Davis, E. Forsen, M. Dong, J. Montserrat, G. Abadal, C. Martín, X. Borrisé, A. Boisen, N. Barniol

Centre Nacional de Microelectrònica

Producció científica: Capítol de llibre › Capítol › Recerca

Idioma original	Anglès
Títol de la publicació	Libro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electrónicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003
Lloc de publicació	Calella (ES)
Pàgines	97-
Edició	1
Estat de la publicació	Publicada - 1 de gen. 2003

SDG de les Nacions Unides

Aquest resultat contribueix als següents objectius de desenvolupament sostenible.

ODG 9 – Indústria, innovació i infraestructures

Com citar-ho

Pérez-Murano, F., Davis, Z., Forsen, E., Dong, M., Montserrat, J., Abadal, G., Martín, C., Borrisé, X., Boisen, A., & Barniol, N. (2003). Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems. In Libro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electrónicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003 (1 ed., pàg. 97-).

@inbook{8804541a407044e7bb689525cff18f8e,

title = "Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems",

author = "F. P{\'e}rez-Murano and Z. Davis and E. Forsen and M. Dong and J. Montserrat and G. Abadal and C. Mart{\'i}n and X. Borris{\'e} and A. Boisen and N. Barniol",

year = "2003",

month = jan,

day = "1",

language = "English",

isbn = "978-84-607-6771-8",

pages = "97--",

booktitle = "Libro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electr{\'o}nicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003",

edition = "1",

}

Pérez-Murano, F, Davis, Z, Forsen, E, Dong, M, Montserrat, J, Abadal, G, Martín, C, Borrisé, X, Boisen, A & Barniol, N 2003, Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems. in Libro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electrónicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003. 1 ed., Calella (ES), pàg. 97-.

Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems. / Pérez-Murano, F.; Davis, Z.; Forsen, E. et al.
Libro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electrónicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003. 1. ed. Calella (ES), 2003. pàg. 97-.

Producció científica: Capítol de llibre › Capítol › Recerca

TY - CHAP

T1 - Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems

AU - Pérez-Murano, F.

AU - Davis, Z.

AU - Forsen, E.

AU - Dong, M.

AU - Montserrat, J.

AU - Abadal, G.

AU - Martín, C.

AU - Borrisé, X.

AU - Boisen, A.

AU - Barniol, N.

PY - 2003/1/1

Y1 - 2003/1/1

M3 - Chapter

SN - 978-84-607-6771-8

SP - 97-

BT - Libro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electrónicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003

CY - Calella (ES)

ER -