Nanopatterning by AFM-nanooxidation of thin aluminium layers as a tool for the prototyping of nanoelectromechanical systems

F. Pérez-Murano, Z. Davis, E. Forsen, M. Dong, J. Montserrat, G. Abadal, C. Martín, X. Borrisé, A. Boisen, N. Barniol

    Producció científica: Capítol de llibreCapítolRecerca

    Idioma originalEnglish
    Títol de la publicacióLibro de abstracts de la 4a Conferencia de dispositivos electrónicos, Calella-Barcelona, 12-14 febrero 2003
    Lloc de publicacióCalella (ES)
    Pàgines97-
    Edició1
    Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2003

    Com citar-ho