Nanometer Scale Oxidation of Si(100) Surfaces with Scanning Tunneling Microscopy: Application to Lithography. Primera Conferencia de Dispositivos Electrónicos.

F Pérez, G Abadal, N Barniol, X Aymerich, R Alcubilla (Editor/a), J Pond (Editor/a)

    Producció científica: Llibre/InformeLlibre d'ActesRecerca

    Idioma originalUndefined/Unknown
    Lloc de publicació- (ES)
    Nombre de pàgines5
    Estat de la publicacióPublicada - de jul. 1997

    Com citar-ho