Idioma original | Anglès |
---|---|
Pàgines (de-a) | 1208-1212 |
Revista | Journal of Vacuum Science & Technology (A) |
Volum | 14 |
Estat de la publicació | Publicada - 1 de gen. 1996 |
Nanometer scale lithography of silicon (100) surfaces with tapping mode AFM
J. Servat, P. Gorostiza, F. Sanz, F. Pérez, G. Abadal, N. Barniol, X. Aymerich
Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca
32
Cites
(Scopus)