Nanometer scale lithography of silicon (100) surfaces with tapping mode AFM

J. Servat, P. Gorostiza, F. Sanz, F. Pérez, G. Abadal, N. Barniol, X. Aymerich

    Producció científica: Contribució a revistaArticleRecerca

    32 Cites (Scopus)
    Idioma originalAnglès
    Pàgines (de-a)1208-1212
    RevistaJournal of Vacuum Science & Technology (A)
    Volum14
    Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 1996

    Com citar-ho