Monolithic integration of mass sensing nano-cantilevers with CMOS circuitry

Z. J. Davis, G. Abadal, B. Helbo, O. Hansen, F. Campabadal, F. Pérez-Murano, J. Esteve, E. Figueras, J. Verd, N. Barniol, A. Boisen

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecercaAvaluat per experts

Fingerprint

Navegar pels temes de recerca de 'Monolithic integration of mass sensing nano-cantilevers with CMOS circuitry'. Junts formen un fingerprint únic.
Ordenar per

Keyphrases

Engineering

Material Science