Monolithic 0.35-mu m CMOS cantilever for mass sensing in the attogram range with self-excitation

J. Verd, A. Uranga, J. Teva, G. Abadal, F. Torres, J. Arcamone, J. L. Lopez, F. Perez-Murano, J. Fraxedas, J. Esteve, N. Barniol, IEEE

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecercaAvaluat per experts

Idioma originalAnglès
RevistaTransducers '07 & Eurosensors Xxi, Digest of Technical Papers, Vols 1 and 2
Estat de la publicacióPublicada - 2007

Com citar-ho