Idioma original | Anglès |
---|---|
Pàgines (de-a) | 149-453 |
Revista | Microelectronic Engineering |
Volum | 59 |
DOIs | |
Estat de la publicació | Publicada - 1 de gen. 2001 |
Idioma original | Anglès |
---|---|
Pàgines (de-a) | 149-453 |
Revista | Microelectronic Engineering |
Volum | 59 |
DOIs | |
Estat de la publicació | Publicada - 1 de gen. 2001 |