MOCVD Growth and Characterization of 3C-SiC on Si(100)

J. Rodríguez, M.T. Clavaguera-Mora, N. Clavaguera, G. Arnaud, J. Camassel, J. Pascual, C. Domínguez, S. Berberich, J. Millán

Producció científica: Contribució a revistaArticleRecercaAvaluat per experts

Idioma originalAnglès
Pàgines (de-a)251-266
RevistaAdvances in Science and Technology
Número6
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 1995

Com citar-ho