MEMS Mass sensor with atto-gram/Hz sensitivity based on a polysilicon cantilever array integrated monolithically with CMOS circuit

M. Villarroya, J. Teva, E. Forsen, J. Verd, G. Abadal, J. Montserrat, J. Esteve, F. Pérez-Murano, A. Boisen, N. Barniol

Producció científica: Capítol de llibreCapítolRecerca

Idioma originalEnglish
Títol de la publicacióEUROSENSORS XIX BARCELONA. SPAIN 11th-14th September 2005
Lloc de publicacióBarcelona (ES)
Pàgines-
Edició1
Estat de la publicacióPublicada - 1 de gen. 2005

Com citar-ho