Método estadístico de diseño experimental aplicado al desarrollo de procesos en tecnología microelectrónica

E. Cabruja, M. Lozano, C. Cané, C. Dominguez, LORA-TAMAYO E., F. Serra

Producció científica: Contribució a revista › Article › Recerca

Idioma original	Espanyol
Pàgines (de-a)	439-444
Revista	Anales de química : Serie B, Química inorgánica y química analítica
Volum	87
Estat de la publicació	Publicada - 1 de gen. 1991

Com citar-ho

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TY - JOUR

T1 - Método estadístico de diseño experimental aplicado al desarrollo de procesos en tecnología microelectrónica

AU - Cabruja, E.

AU - Lozano, M.

AU - Cané, C.

AU - Dominguez, C.

AU - E., LORA-TAMAYO

AU - Serra, F.

PY - 1991/1/1

Y1 - 1991/1/1

M3 - Artículo

SN - 0211-1349

VL - 87

SP - 439

EP - 444

JO - Anales de química : Serie B, Química inorgánica y química analítica

JF - Anales de química : Serie B, Química inorgánica y química analítica

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